| 仪器名称:电子束镀膜 厂商:美国,Kurt J. Lesker Company 型号:Kurt J. Lesker PVD75 Proline EB 购买日期:2016-12-22 放置地点:化学楼B117室 管理员:张盼科 简介:品牌:科特·莱思科型号:PVD75 Proline EB 腔室尺寸:15.25” 宽x 16.50” 宽 x 24” 高电子枪:5KW固态电容电源坩埚:4个样平台:水冷,0-20 rpm旋转 电子束蒸发镀膜是利用电子束轰击坩埚内镀膜材料使其加热蒸发,从而在基片上沉积成膜。
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