仪器名称：光刻纳米压印
厂商：德国，SUSS
型号：SUSS MA6-SCIL
购买日期：2017-8-24
放置地点：化学楼B117室
管理员：张盼科
简介：紫外光波长：350-450 nm 光强：20 mw/cm2 （365 nm） 30 mw/cm2（405 nm） 光均匀性：±3 % 接近式曝光距离1-999 um，精度1 um Step 分辨率：0.8 um 套准精度：±0.5 um XY平台移动范围：±5 mm，±5°；移动精度：0.1 um，4E-5° 衬底：2'*2', 4'*4' 掩膜版：3', 5'
