 | 仪器名称：磁控溅射镀膜机 厂商：美国，Kurt J. Lesker Company 型号：Kurt J. Lesker PVD75 Proline SP 购买日期：2016-12-22 放置地点：化学楼B117室 管理员：张盼科 简介：品牌：科特·莱思科 型号：PVD75 Proline SP 腔室尺寸：15.25” 宽x 16.50” 宽 x 24” 高 靶枪：2”标准靶（RF）；3”标准靶（DC）；2”强磁靶（DC）。 射频电源：300 W 直流电源：1000 W 磁控溅射镀膜的工作原理是电子在电场作用下飞向基片的过程中与Ar原子发生碰撞使其电离，Ar+离子在电场作用下加速轰击靶材使其溅射，其中中性靶原子或分子沉积在基片形成薄膜，而二次电子被电场和磁场束缚在靶材表面并进一步电离出大量Ar+离子来轰击靶材，从而实现较高沉积效率。
|
|
