仪器名称：探针台
厂商：德国，CASCADE
型号：CASCADE Summit 12000B-M
购买日期：2017-9-15
放置地点：化学楼B117室
管理员：张盼科
简介：8'直流探针台 XY方向： 移动范围203*203 mm 分辨率 1um 重复精度 2um 移动速度 50 mm/sec Z方向： 移动范围5 mm 分辨率1 um 重复精度1 um Theta方向： 转动范围±5.5 度 台面可被拉杆提升5 mm，重复小于3 um 探针座精度±2 um，重复性± 2 um 系统漏电流小于100 fA
