当前位置>>首页-仪器设备-设备详情
  • 仪器名称:图形转换及纳米压印系统(光刻机)
  • 厂商:德国,SUSS
  • 型号:MA6-SCIL
  • 购买日期:2017-8-24
  • 仪器价格:2527246.72
  • 放置地点:化学楼B117室
  • 管理员:张盼科
  • 简介:紫外光波长:350-450 nm 光强:20 mw/cm2 (365 nm) 30 mw/cm2(405 nm) 光均匀性:±3 % 接近式曝光距离1-999 um,精度1 um Step 分辨率:0.8 um 套准精度:±0.5 um XY平台移动范围:±5 mm,±5°;移动精度:0.1 um,4E-5° 衬底:2"*2", 4"*4" 掩膜版:3", 5"