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  • 仪器名称:薄膜厚度测量仪
  • 厂商:美国,Filmetrics
  • 型号:F20-UV
  • 购买日期:2018-1-19
  • 仪器价格:157840.00
  • 放置地点:化学楼B117室
  • 管理员:张盼科
  • 简介:1、可测光滑半透明的或低吸收系数薄膜 2、最小可测厚度:1 nm 3、最大可测厚度:≥ 10 um 4、准确度(较大者):1nm或0.2% 5、精度:≤0.02 nm 6、稳定性:≤0.05 nm 7、样品大小:直径1 mm到300 mm 利用光反射干涉的原理进行无损测量,光源产生的光通过光纤垂直照射在样品表面,光通过膜层上下表面均垂直反射,由于膜层厚度及光学常数的不同,两束光相遇会产生干涉,得到的干涉曲线,设备软件系统对所收集的数据进行分析和计算,最终得到膜层厚度。基本大部分透明、半透明(如:光刻胶、ITO、氧化硅等)的薄膜都可以测量。