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  • 仪器名称:台阶仪
  • 厂商:美国,Bruker
  • 型号:DekTakXT
  • 购买日期:2017-12-5
  • 仪器价格:401140.00
  • 放置地点:化学楼B117室
  • 管理员:张盼科
  • 简介: 最大扫描长度160 mm 最大样品高度40 mm 垂直扫描范围900 um 垂直分辨率0.1 nm XY移动范围150*150 mm 探针压力0.03-15 mg 单次扫描最大采样点数120000 主要用于测量薄膜材料厚度(2D)和表面形貌(3D),可以精确定量台阶高度、线粗糙度、薄膜曲率半径、应力等几何参数。