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  • 仪器名称:探针台
  • 厂商:德国,CASCADE
  • 型号:Summit 12000B-M
  • 购买日期:2017-9-15
  • 仪器价格:2563983.48
  • 放置地点:化学楼B117室
  • 管理员:张盼科
  • 简介:8"直流探针台 XY方向: 移动范围203*203 mm 分辨率 1um 重复精度 2um 移动速度 50 mm/sec Z方向: 移动范围5 mm 分辨率1 um 重复精度1 um Theta方向: 转动范围±5.5 度 台面可被拉杆提升5 mm,重复小于3 um 探针座精度±2 um,重复性± 2 um 系统漏电流小于100 fA