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  • 仪器名称:磁控溅射镀膜机
  • 厂商:美国,Kurt J. Lesker Company
  • 型号:PVD75 Proline SP
  • 购买日期:2016-12-22
  • 仪器价格:1174259.46
  • 放置地点:化学楼B117室
  • 管理员:张盼科
  • 简介:品牌:科特·莱思科 型号:PVD75 Proline SP 腔室尺寸:15.25” 宽x 16.50” 宽 x 24” 高 靶枪:2”标准靶(RF);3”标准靶(DC);2”强磁靶(DC)。 射频电源:300 W 直流电源:1000 W 磁控溅射镀膜的工作原理是电子在电场作用下飞向基片的过程中与Ar原子发生碰撞使其电离,Ar+离子在电场作用下加速轰击靶材使其溅射,其中中性靶原子或分子沉积在基片形成薄膜,而二次电子被电场和磁场束缚在靶材表面并进一步电离出大量Ar+离子来轰击靶材,从而实现较高沉积效率。